سی او 2 نے مربوط سرکٹس میں درخواست دی۔
اگرچہ سلکان ایک سیمیکمڈکٹر ماد isہ ہے ، لیکن سی او 2 ایک اچھ insا انسولیٹنگ ماد isہ ہے ، اور اس میں انتہائی مستحکم کیمیائی خصوصیات ہیں ، ان عمدہ خصوصیات کی وجہ سے یہ آئی سی مینوفیکچرنگ میں بہت زیادہ وسیع پیمانے پر ایپلی کیشنز رکھتا ہے۔ یہ کہا جاسکتا ہے کہ " سلیکن " نہ صرف ہمیں سلیکن ایج میں لے جا رہا ہے ، بلکہ سی او 2 کے اہم استعمالات بھی ہیں۔ آئی سی مینوفیکچرنگ میں سی او 2 مندرجہ ذیل پہلوؤں سے جھلکتا ہے۔
1. نقاب پوشی
سلکا نجاست کے پھیلاؤ کے لئے ماسک ایجنٹ کا کام کرتی ہے۔ آئی سی مینوفیکچرنگ میں ، سلیکا فلموں میں بوران ، فاسفورس اور آرسنک کا بازی سلیکن سے کہیں زیادہ آہستہ ہے۔ لہذا ، سب سے زیادہ عام طور پر
سیمیکمڈکٹر آلات کے مختلف علاقوں (جیسے ٹرانجسٹروں کے منبع اور نالی علاقوں) کو گھڑا کرنے کے لئے استعمال شدہ طریقہ یہ ہے کہ پہلے فوٹو سلائیگرافی اور ترقی کے بعد سلیکن وفر کی سطح پر سی او 2 آکسائڈ فلم کی ایک پرت تیار کرنا ہے ، پھر آکسائڈ فلم کو سطح پر رکھنا ڈوپڈ خطے کے ، اس طرح ڈوپنگ ونڈو تشکیل دیتے ہیں ،
اور آخر میں ونڈو کے ذریعے منتخب ناپاک۔ چی کو اسی علاقے میں انجکشن لگایا جاتا ہے۔
2. گیٹ آکسائڈ
ایم او ایس / سی ایم او ایس انٹیگریٹڈ سرکٹس کی تیاری کے عمل میں ، سی او 2 عام طور پر ایم او ایس ٹرانجسٹروں کے موصل گیٹ ڈائی ایئلیٹرک کے طور پر استعمال ہوتا ہے ، یعنی گیٹ آکسائڈ پرت۔
3. ڑانکتا ہوا تنہائی
آئی سی تانے بانے میں تنہائی کے طریقوں میں پی این جنکشن تنہائی اور ڈائیلیٹرک تنہائی شامل ہوتی ہے ، جس میں عام طور پر ڈائی الیکٹرک تنہائی کو سی او 2 آکسائڈ فلم کے ذریعہ منتخب کیا جاتا ہے۔ مثال کے طور پر ، CMOS عمل میں فیلڈ آکسیجن (PMOS اور NMOS ٹرانجسٹروں کو الگ تھلگ کرنے کے لئے استعمال کیا جاتا ہے) ایک SiO2 فلم ہے جو PMOS اور NMOS ٹرانجسٹروں کے فعال علاقوں کو الگ تھلگ کرنے کے لئے استعمال ہوتی ہے۔
4. موصلیت کا وسط۔
سلیکن ڈائی آکسائیڈ ایک اچھا انسولیٹر ہے ، لہذا کثیر پرت دھات کی وائرنگ ڈھانچے کے ل it ، یہ دھات کی اوپری اور نچلی تہوں کے درمیان موصلیت کا ذریعہ استعمال ہوتا ہے ، دھاتوں کے مابین شارٹ سرکٹ کو روک سکتا ہے۔